オムロンは12日、超小型マイクなど微小電子機械部品(MEMS)の生産ラインを半導体製造子会社オムロンセミコンダクターズ(滋賀県野洲市)の工 場に新設したと発表した。2008年度中に8インチ(約200ミリ)ウエハー換算で月産約1000枚体制を整備。10年度にMEMS事業の売上高を現在の 約3倍の約100億円に引き上げることを目指す。MEMSは半導体素子の上に三次元構造をつくり、音響や温度、圧力などを検知するセンサーにする技術。同社によると、MEMS市場は情報通信機器や自動車向けを中心に成長し、10年度に05年度比2・7倍の1兆1700億円規模になる見通しという。
セイコーエプソンから買収して昨年12月に設立したオムロンセミコンダクターズの本社工場に約15億円を投じ、MEMSの生産ラインを整備。既存の半導体ラインと組み合わせ、8インチウエハーでは国内初のMEMS一貫生産体制を整えた。
当初は携帯電話などに用いる約1ミリ角の超小型マイク「マイクロフォンチップ」を生産し、順次生産を拡大。MEMS単体だけでなく、IC(集積回路)と組み合わせて複合部品化するなどして性能を高め、販路拡大を図る方針。
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